日本Rigaku理学nano3DX是一个真正的X射线显微镜（XRM），可以从相对大的样本中获得高分辨率的3D计算机断层摄影（CT）图像。这是通过采用高功率旋转对阴极X射线源及高分辨率CCD检测器实现的。通过旋转对阴极型线源，可以快速获取数据，轻松切换目标材料（波长），优化特定样品类型的对比度。
高分辨率3D CT X射线显微镜，X射线显微镜技术，可以观察到亚微米区域的X射线显微镜。
断层摄影是通过将对象物切成薄片来调查该对象物的三维结构的技术。微层析成像意味着切片非常薄，特别是薄到可以用光学显微镜看到。以前的断层摄影是很麻烦很花时间的工作。由于需要时间，也有给样品带来重大变化的危险。在X射线断层摄影法中，整个试样以多个旋转角度进行拍摄。这多幅图像由计算机算法处理，通过重构可在任意方向切片的三维数据，带来对对象内部特征的新见解。X射线显微镜将这种视觉化设定为1微米（1μm）以内的分辨率进行。
高分辨率3DX射线显微镜，使用新的nano3DX，您可以看到各种不同的样品，例如CFRP之类的吸收对比度较低的样品，以及陶瓷复合材料之类的密度较高的样品。nano3DX通过改变X射线的波长，提高对比度和透过度的功能，实现了其性能。
